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本发明公开一种具有偏心开槽可变介质导波管的线型微波等离子体源，该线型微波等离子体源包含反应腔室；设置在反应腔室上的矩形导波管，其底壁具有偏心设置的细长偏心开槽，偏心开槽将底壁区分成宽边及窄边，且矩形导波管以偏心开槽与反应腔室连通；嵌设在偏心...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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