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一种具有加热功能的微流体通道的制造工艺，先将透明石英玻璃基材清洗，在其表面制备一层SU-8光刻胶，再进行紫外曝光，紫外曝光所采用掩模板图形为微流道结构图形，然后制备纳米金属丝结构，制备方式有湿法腐蚀和Lift-off两种，最后以制备的纳米金...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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