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本发明提供一种光生酸剂、其制备方法、以及包含该光生酸剂的抗蚀剂组合物。该光生酸剂是由下式1表示的化合物：[式1]其中，在式1中，Y表示选自具有3至30个碳原子的环烷基和具有3至30个碳原子的环烯基中的任一种；Q1和Q2各自独立地表示卤素原子...
该专利属于锦湖石油化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过锦湖石油化学株式会社授权不得商用。

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