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一种制备叉指背接触双面太阳能电池的方法技术
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文档序号:6852511
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本发明公开了一种制备叉指背接触双面太阳能电池的方法,包括:对晶硅电池片进行清洗制绒;在制绒后的晶硅电池片表面进行轻扩制结;对轻扩制结后的晶硅电池片进行热氧化;在晶硅电池片上划槽打孔;在晶硅电池片槽区进行重扩;表面钝化制备减反膜;激光再次开槽...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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