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?本发明提供一种薄膜晶体管及其制造方法。其中，藉由两道灰阶光罩制程与剥离法来制作顶闸极型的薄膜晶体管。因此，相较于传统的薄膜晶体管制程，此方法可节省光罩及制程的成本。...
该专利属于华映光电股份有限公司;中华映管股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华映光电股份有限公司;中华映管股份有限公司授权不得商用。

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