下载基于谐振频率的压力传感器的技术资料

文档序号:6843492

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本发明公开了一种用于感测过程流体的压力的压力传感器,所述压力传感器包括被暴露到过程流体的压力的传感器主体。传感器主体响应于所述压力变形。从传感器主体悬挂的膜片具有响应于传感器主体的变形而改变的张力。膜片的谐振频率被测量。测量的谐振频率指示过...
该专利属于罗斯蒙德公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗斯蒙德公司授权不得商用。

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