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本发明提供了一种用于等离子体处理设备的排气板，该排气板可围绕其中心做旋转运动。此外，本发明还提供一种等离子体处理设备，其包括反应腔室及置于其内的下电极，在所述反应腔室内环绕所述下电极而设置其上具有若干排气通道的排气板，并且所述排气板相对于所...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。