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本发明提高了具有例如波纹管的柔性泵部件的液体供给装置的驱动特性和耐用性。液体供给装置中的驱动泵具有波纹管作为泵部件，其可以通过驱动杆轴向地弹性变形。由波纹管和壳体形成驱动泵室和连通室，并且连通室和驱动泵室被孔板部件分隔。在驱动杆的驱动操作时...
该专利属于株式会社小金井所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社小金井授权不得商用。

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