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本实用新型提供了一种硅太阳电池片的光致热扩散制结装置，用于在硅片上形成P-N结或高低结；包括加热光源和具有温度调节功能的背面温控装置，加热光源设置在背面温控装置的正上方。采用本实用新型的装置实现太阳电池扩散制结过程，相对于常规的高温热扩散工...
该专利属于袁晓;柳翠所有，仅供学习研究参考，未经过袁晓;柳翠授权不得商用。

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