温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，包括夹具体、立柱螺杆、复位弹簧、压板、收紧螺母和数控扭力扳手，两根立柱螺杆的下端固定在夹具体上，在两根立柱螺杆的上段设有螺纹，复位弹簧套装在立柱螺杆的上段，压板套装在两根立柱螺杆上，并由收紧螺母收紧，收紧螺...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。