下载硅液面位置控制装置的技术资料

文档序号:6723609

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本实用新型实施例公开了一种硅液面位置控制装置,该控制装置安装在单晶炉上的观测窗口上,包括:激光发射器、激光接收器和控制回路,激光发射器可调节的设置在单晶炉上的第一观测窗口;激光接收器用于接收激光发射器的光束显示硅液面的变化,并可调节的设置在...
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