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本发明公开了一种大流量高纯液化气体的输送方法，包括液化气体储存模块、增压模块、液化气体输送管道、蒸发器和调压模块，所述方法依次包括如下步骤：从液化气体储存模块引出液化气体，使其进入增压模块；由增压模块打出液化气体，并通过液化气体输送管道将液...该专利属于上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司授权不得商用。