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干涉仪阶梯扫描系统和方法技术方案
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文档序号:6612437
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本发明涉及干涉仪阶梯扫描系统和方法。在一些实施例中,阶梯扫描红外(IR)光谱仪干涉仪中的路径长度差(延迟)被在AC伺服机构(伺服)控制下保持阶梯变化之后的第一时间段,并且在DC伺服控制下保持第一时间段之后的第二时间段。在DC伺服控制时间段期...
该专利属于安捷伦科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安捷伦科技有限公司授权不得商用。
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