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组合形多缝基准零线光栅制造技术
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下载组合形多缝基准零线光栅的技术资料
文档序号:6600079
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组合形多缝基准零线光栅,包括静光栅和动光栅,基准零线由法线基准零线光缝与至少一段圆弧/圆环曲线光缝组成,动光栅与静光栅的对应光缝相对应,所述法线基准零线光缝与圆弧/圆环曲线光缝相交,且两者的位置呈法线关系,法线基准零线光缝和圆弧曲线光缝的宽...
该专利属于南京中科天文仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京中科天文仪器有限公司授权不得商用。
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