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本发明公开一种多晶硅副产物四氯化硅处理设备，包括反应器，收集冷却器，聚集器，分离器，和脱酸器，收集冷却器位于反应器下方以便冷却器进料口与反应器出口相连；聚集器入口与冷却器出料口相连；分离器具有分离器入口、气体出口和固体出口，分离器入口与聚集...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。

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