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一种石英舟检测装置及检测方法，其中所述装置包括：检测部，与石英舟外周匹配；支撑部，与检测部连接，且支撑所述检测部；所述方法，包括如下步骤：握持支撑部；将检测部夹于石英舟外周，如检测部与石英舟完全匹配，则石英舟未变形；如检测部与石英舟不匹配，...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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