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本发明通过提供一种避免坩埚原料粉末侵入到坩埚内表面的方法，可靠地避免到坩埚的实际使用时期为止异物侵入到石英玻璃坩埚内部，从而能够在不受污染状态下使用处理坩埚。一种安装在石英玻璃坩埚（1）的开口部（2）上的盖（3），其具有紧密接合在所述开口部...
该专利属于日本超精石英株式会社;胜高股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本超精石英株式会社;胜高股份有限公司授权不得商用。

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