下载半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:6328935

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本发明涉及半导体器件及其制造方法。本发明的一个目的是增加半导体器件的孔径比。在一个衬底上提供像素部分和驱动器电路。像素部分中的第一薄膜晶体管(TFT)包括:衬底上的栅极电极层;栅极电极层上的栅极绝缘层;栅极绝缘层上的氧化物半导体层;氧化物半...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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