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公开了一种基片加工装置，尤其公开了一种能够对基片进行预定加工的基片交换模块以及具有该模块的基片加工装置。所述基片加工装置的基片交换模块与一个或多个加工模块相连接，所述加工模块被配置用于加工堆叠在托盘上的多个基片，所述基片交换模块包括：基片交...
该专利属于金炳埈所有，仅供学习研究参考，未经过金炳埈授权不得商用。

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