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非对称流道无阀压电泵制造技术
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文档序号:6217446
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本发明提供一种非对称流道无阀压电泵,属于流体传输和微机械技术领域。泵体上盖和泵下腔体由螺栓联接,压电振子的压电陶瓷片与金属铜基板固定连接,压电振子的金属铜基板夹持在泵体上盖和圆形橡胶密封圈之间,圆形橡胶密封圈放置在泵下腔体内,泵下腔体包含圆...
该专利属于浙江师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江师范大学授权不得商用。
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