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本发明涉及一种清洗药液的前馈-串级温度控制方法，属于自动化控制技术领域。为了提高药液温度控制方法的抗扰动能力，该方法包括如下步骤：在药液存储槽底部位置设置第一温度传感器及前馈控制器，在加热器的出口处设置第二温度传感器，在工艺清洗供液出口处设...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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