温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种电热式旋转涂覆制备薄膜装置，该装置包括存储罐、喷嘴、腔室和旋转台；其中，旋转台固定于腔室内部，用以固定放置于其上的待涂覆的硅片；存储罐固定于腔室外部，其中存储的胶通过管道以及管道另一端延伸至腔室内部旋转台上方的喷嘴，被滴...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。