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一种大电流场致发射阴极结构制造技术
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下载一种大电流场致发射阴极结构的技术资料
文档序号:6031670
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本发明提出一种大电流场致发射阴极结构。在该结构中,阴极发射面积被分为若干小的点阵,每个小的阴极发射点之间电学绝缘。由于每个阴极发射点的面积较小,可以获得很好的发射均匀性。本发明通过测量每一个阴极发射点的场致发射特性,可以确定场发射阴极点阵的...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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