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一种小尺寸晶片抛光摩擦力在线测量装置，包括抛光头、电阻应变仪、数据采集仪、导线及计算机。抛光头由配重块，弹性元件、电阻应变片、集电环组成。抛光时，晶片所受摩擦力使抛光头内部的弹性元件产生弹性变形，贴在弹性元件表面的电阻应变片将弹性元件的弹性...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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