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一种连续卷绕式磁控溅射真空镀膜装置制造方法及图纸
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文档序号:6021509
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本实用新型属于板式太阳能中的太阳能选择性吸收涂层的连续镀膜设备。一种连续卷绕式磁控溅射真空镀膜装置,包括放卷室、收卷室、张力控制室、预处理室、工艺室组成,放卷室和收卷室分别位于设备的首末两端,放卷室和收卷室分别与一个张力控制室连接,放卷室一...
该专利属于丘仁政;陈汉文;罗宾所有,仅供学习研究参考,未经过丘仁政;陈汉文;罗宾授权不得商用。
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