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聚束极和加速阳极相互位置可调的电子束区熔炉制造技术
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下载聚束极和加速阳极相互位置可调的电子束区熔炉的技术资料
文档序号:6002753
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一种聚束极和加速阳极相互位置可调的电子束区熔炉,包括上、下籽晶杆移动装置、一组真空泵和电子束区熔炉本体,熔炉本体内中心轴处置上籽晶杆、料棒和下籽晶杆,还内置有电子枪;熔炉带有端侧副室和中心副室,上、下籽晶杆分别置于两端侧副室内,电子枪单元置...
该专利属于北京有色金属研究总院所有,仅供学习研究参考,未经过北京有色金属研究总院授权不得商用。
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