温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种无电荷注入效应高可靠性电容式射频微机电系统开关，在低损耗衬底上制作有作为射频传输线的共面波导，其中心电极的中间部分覆盖有一层绝缘介质薄膜，其上横跨有开关膜桥，膜桥两端为制作在共面波导地电极上的可动偏置电极，其外侧有固定偏置电极，膜桥和可...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。