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用以自动修正基于激光的系统以处理目标样本(例如半导体晶片)的系统及方法。在一个实施例中,该基于激光的系统会侦测和处理模型相关联的触发信号。该处理模型对应于一组晶片。该系统会依据该处理模型而响应于该触发信号来自动调整一项或多项系统参数。该系统...该专利属于伊雷克托科学工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过伊雷克托科学工业股份有限公司授权不得商用。
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用以自动修正基于激光的系统以处理目标样本(例如半导体晶片)的系统及方法。在一个实施例中,该基于激光的系统会侦测和处理模型相关联的触发信号。该处理模型对应于一组晶片。该系统会依据该处理模型而响应于该触发信号来自动调整一项或多项系统参数。该系统...