温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种生产三氯氢硅的方法及其设备，具体讲，涉及一种三氯氢硅生产过程中粉尘的处理方法及其设备。所述的三氯氢硅生产过程中的尾气和粉尘的混合物经过滤装置处理，所截留的粉尘再通过两步袋式过滤器处理，处理粉尘的袋式过滤器中设置有至少一个布袋吹...
该专利属于江西嘉柏新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西嘉柏新材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。