下载用于提纯半导体材料的包括等离子体焰炬的设备的技术资料

文档序号:5482091

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本发明涉及一种用于提纯半导体材料(44)的设备(10),其至少包括包含至少一种惰性气体的大气的室。该设备包括:在室中,熔炉(30),该熔炉预要包含熔融状态的半导体材料;等离子体焰炬(40),该等离子体焰炬预要从熔炉中熔化的半导体材料移除杂质...
该专利属于易孚迪感应设备有限公司;原子能与替代能源委员会;国立科学研究中心;菲赫贝姆简化股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过易孚迪感应设备有限公司;原子能与替代能源委员会;国立科学研究中心;菲赫贝姆简化股份公司授权不得商用。

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