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检测移动衬底的形状变化的方法和装置制造方法及图纸
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下载检测移动衬底的形状变化的方法和装置的技术资料
文档序号:5474018
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揭示了一种用于检测连续衬底的形状变化的方法,该方法:包括提供连续移动通过测量区域的连续衬底,提供与测量区域的至少一部分光连通的光学位置传感器,用激光射线照射测量区域的至少一部分内连续衬底的至少一部分,并检测激光射线的反射,然后确定连续衬底的...
该专利属于康宁股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康宁股份有限公司授权不得商用。
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