下载硅料清洗剂及硅料清洗的方法的技术资料

文档序号:5469300

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本发明公开了清洗剂SEH-1、清洗剂SEH-2、清洗剂SEH-3的组方,所述的清洗剂SEH-1由以下组分按质量份组成:脂肪醇聚氧乙烯醚为5-25;烷基酚聚氧乙烯醚为3-15;烷基醇酰胺为2-8;乙二醇烷基醚为0.5-7;螯合剂为0.1-5;...
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