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受应力的场效晶体管以及其制造方法技术
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文档序号:5466182
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本发明提供一种受应力的场效晶体管(40)以及其制造方法。该场效晶体管(40)包括硅衬底(44),在该硅衬底上覆有栅极绝缘体(54)。栅电极(62)覆于该栅极绝缘体上,并且确定信道区域(68)于该栅电极之下方的该硅衬底中。具有第一厚度的第一硅...
该专利属于先进微装置公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进微装置公司授权不得商用。
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