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薄膜半导体装置和场效应晶体管制造方法及图纸
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文档序号:5464294
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本发明包括半导体薄膜(1),半导体薄膜层叠在栅电极(13)上,在半导体薄膜和栅电极之间具有栅绝缘膜(15)。半导体薄膜(1)具有叠层结构,并且包括至少两个半导体层(a、a′)。在半导体薄膜(1)中,例如,由与两个半导体层(a、a′)不同的材...
该专利属于索尼公司所有,仅供学习研究参考,未经过索尼公司授权不得商用。
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