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提供了一种对加工系统中的机械手进行校准的方法（５００）。该方法包括：将距离传感器（２１４）可拆除地耦合（５０２）到机械手的末端操纵装置（１０２），以及使距离传感器测量（５０６）从传感器（２１４）到衬底支架（１０８）的距离。然后，确定该距离是...
该专利属于赛博光学半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛博光学半导体公司授权不得商用。

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