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多鞘多毛细管浮质喷射器制造技术
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文档序号:5455135
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本发明公开了一种用于淀积成烟雾状散开材料的设备和方法,其中,浮质流被多于一个的连续鞘气流包围和聚集。混合的鞘气流和浮质流可以连续流动通过多于一个的毛细管,从而使流动进一步变窄。可以实现小于一微米的线宽。...
该专利属于奥普托美克公司所有,仅供学习研究参考,未经过奥普托美克公司授权不得商用。
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