下载利用电压可切换电介质材料和光辅助进行电镀衬底器件的技术的技术资料

文档序号:5444911

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使用包含电压可切换电介质(VSD)材料的厚度的衬底进行电镀过程,所述VSD材料具有被分散、混合或溶解在VSD材料的粘合剂中的光敏组分。通过部分利用将光引导至所述厚度和VSD材料所产生的电压将VSD材料从介电状态切换成导电状态,导电元件的图案...
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