下载包含精细间距阵列且具有交错触点的半导体装置及其设计和制造方法的技术资料

文档序号:5429912

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一种半导体装置结构包含交错的触点以促进有源装置区与导电线之间的小间距,同时使所述触点制造期间的未对准和所述触点部分之间的接触电阻中的一者或两者最小化。一行中的所述触点与每隔一个有源装置区连通,且相对于另一行中的所述触点交错,另一行中的所述触...
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