下载通过电子回旋共振产生的等离子体基本源来处理至少一个零件的表面的方法的技术资料

文档序号:5421553

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本方法包括使一个或更多零件(1)相对于基本源(2)的至少一个固定直列作至少一个旋转运动,基本源(2)的所述一个或者多个直列被设置为与所述一个或更多零件的一个或更多旋转轴线平行。...
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