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本发明是有关于一种正型抗蚀剂处理液组合物，其是由含有用通式（Ⅰ）表示的氢氧化季铵的水溶液组成的，式中，Ｒ↓［１］及Ｒ↓［３］分别表示甲基、Ｒ↓［２］表示碳数１２～１８的烷基。...
该专利属于关东化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过关东化学株式会社授权不得商用。

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