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利用LCD的三维形貌测量装置制造方法及图纸
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下载利用LCD的三维形貌测量装置的技术资料
文档序号:5388748
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提供了一种利用LCD的三维形貌测量装置,将正弦波图案形成在测量物上,借此用摄像机及上述正弦波图案获得测量物的影像信息,然后分析影像信息来测得测量物的形貌,所述装置包括LCD投影仪,该LCD投影仪包括:向前方照射光的光源;位于光源的前方,产生...
该专利属于株式会社SNU精密所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社SNU精密授权不得商用。
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