下载上下加热的上置式多晶硅炉的技术资料

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一种上下加热的上置式多晶硅炉,设有炉体,炉体内设有保温笼,装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上,在保温笼内设有上加热器和下加热器,保温笼设有四周笼体、上盖和底板,上加热体与保温笼的上盖固定,下加热体设置在承接台与保温笼的底板之间,在保温笼的底...
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