专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
管悦
>
上下加热的上置式多晶硅炉制造技术
>技术资料下载
下载上下加热的上置式多晶硅炉的技术资料
文档序号:5184855
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种上下加热的上置式多晶硅炉,设有炉体,炉体内设有保温笼,装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上,在保温笼内设有上加热器和下加热器,保温笼设有四周笼体、上盖和底板,上加热体与保温笼的上盖固定,下加热体设置在承接台与保温笼的底板之间,在保温笼的底...
该专利属于管悦所有,仅供学习研究参考,未经过管悦授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。