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本实用新型涉及一种单晶炉，包括上旋转系统、下传动系统，所述上旋转系统与下传动系统之间通过大法兰连接，大法兰上有与气体设备相通的孔，所述上旋转系统包括分流罩，所述分流罩通过小法兰与大法兰端面连接，所述分流罩位于下传动系统的炉室内，所述分流罩呈...
该专利属于常州市祺科机械制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州市祺科机械制造有限公司授权不得商用。

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