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本实用新型公开了用磁控溅射法生产ＣｄＳ／ＣｄＴｅ太阳能电池的装置，其特点是该装置由ＣｄＳ／ＣｄＴｅ的形成装置，ＣｄＣｌ２热处理装置和背电极制作装置组成。ＣｄＳ／ＣｄＴｅ的形成装置依次由进料仓（１）、ＣｄＳ镀膜仓（２）、过渡仓（３）、ＣｄＴｅ...
该专利属于成都中光电阿波罗太阳能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都中光电阿波罗太阳能有限公司授权不得商用。

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