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玻璃坩埚的切割方法及切割装置制造方法及图纸
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文档序号:5050774
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本发明提供一种切割方法及装置,其不会于切割部位的缘部等处产生破损而可平滑地切割玻璃坩埚的边缘部等。玻璃坩埚的切割装置具备:相对于坩埚而朝横向设置的圆板状的切割刃(10);旋转切割刃(10)的旋转单元;使切割刃(10)于坩埚的周向上移动的切割...
该专利属于日本超精石英株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本超精石英株式会社授权不得商用。
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