下载玻璃坩埚的切割方法及切割装置的技术资料

文档序号:5050774

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种切割方法及装置,其不会于切割部位的缘部等处产生破损而可平滑地切割玻璃坩埚的边缘部等。玻璃坩埚的切割装置具备:相对于坩埚而朝横向设置的圆板状的切割刃(10);旋转切割刃(10)的旋转单元;使切割刃(10)于坩埚的周向上移动的切割...
该专利属于日本超精石英株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本超精石英株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。