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一种具有静电放电装置的探针检测机台，以静电冲击并检测具有至少二个受测端的待测半导体元件的电气性能和静电耐受能力。它包括：基座；可提供高压静电冲击讯号至该待测半导体元件的至少二受测端的静电放电装置；对应该基座的探针检测装置，包括至少一个压力导...
该专利属于中茂电子（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中茂电子（深圳）有限公司授权不得商用。

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