下载一种等离子体化学气相沉积前的太阳能电池加热装置的技术资料

文档序号:5008481

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本实用新型涉及一种等离子体化学气相沉积前的太阳能电池加热装置,该加热装置包括并排设置的三个加热箱、电池挂片箱、传送导轨,所述的传送导轨设置在两个加热箱的上面,电池挂片箱挂装在传送导轨上。本实用新型由于采用上述结构使得太阳能电池在等离子体化学...
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