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本实用新型涉及一种太阳能电池生产用化学气相沉积仓室，具体的说是一种能自行降温的等离子体化学气相沉积仓室。该仓室包括仓室主体、反光板，所述的反光板设置在仓室主体的内部。本实用新型由于采用上述结构，即在仓室主体的内部上下左右增设了反光板，所以在...
该专利属于吉林庆达新能源电力股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林庆达新能源电力股份有限公司授权不得商用。

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