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本发明揭示形成氧化物的方法，所述方法包括使含钌材料（１３０）与含钽前驱物接触，和使所述含钌材料与包括水且任选地包括分子氢（Ｈ２）的蒸汽接触。还揭示包括第一结晶五氧化二钽（１４０）和在所述第一结晶五氧化二钽的至少一部分上的第二结晶五氧化二钽（...
该专利属于美光科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美光科技公司授权不得商用。

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