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本实用新型提供了一种掩模板夹持机构，包括机械手及推杆，其中机械手具有夹持所述掩模板的夹持区域，而在该夹持区域前方两侧具有两对称的凸台，所述夹持区域后方中部设置能够前后移动的推杆，通过所述凸台和所述推杆形成三角形的施力点，使得夹持十分稳固，该...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。